平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。
塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。
液平面法，基于連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。
激光平面干涉儀測量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學透鏡。
水平儀測量法，廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。
打表測量法，典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對于測量基準的數據，再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。
激光測量儀：嘉騰新開發平面度測量儀FS5030系列，采用高精度大理石基座及平板保證極高的平面精度以及穩定性和剛性.精密研磨級滾珠絲桿及線性導軌,配松下伺服馬達具有高速精確的定位以及運動的穩定性.人性化的人機界面,配專用全自動平面測量軟件,可編程自動檢測,大大提高測量效率.含基恩士LK-G10或LKG30激光，可以快速測量平整度，伯恩光學、合力泰等玻璃行業公司，目前都在采用嘉騰新開發的平面度檢測儀，大大節約人工成本，提供測量效率以及檢測精度。
